micromachining相关论文
本文对140GHz 带状注弯折波导的色散特性和耦合阻抗进行了仿真.CST微波工作室的仿真表明该波导在140GHz时,波导内电磁波的轴向相速......
飞秒激光微加工技术具有加工精度高、热效应小、损伤阈值低以及能够实现真正的三维微结构加工等优点,这些特性是传统的激光加工技......
当高强度短/超短脉冲激光聚焦于靶材表面或介质内部时,若其峰值功率密度超过某一阈值,靶材表面或介质内部会形成等离子体,等离子体......
Due to the rapid development of portable,wearable and implantable electronics in the fields of mobile communications,bio......
Experimental Investigation on Complex Structures Machining by Electrochemical Micromachining Technol
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
Analysis of the current density characteristics in through-mask electrochemical micromachining (TMEM
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
Theoretical and Experimental Investigation of Laser Milling Assisted with Jet Electrochemical Machin
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Theoretical and Experimental Investigation of Laser Milling Assisted with Jet Electrochemical Machin
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A novel model of a load-deflection method to determine the mechanical properties of micromembranes with compressive resi......
随着硅微机械加工技术（MEMS）的快速发展，各种基于MEMS技术的器件应运而生。文中首先对传感器结构及工作原理进行了简单介绍，给出了一种......
利用多功能微细加工平台的微细电火花加工技术为微细电解加工在线制作微细电极,在低浓度钝化电解液、低加工电压和高频窄脉冲电流......
低密度多孔泡沫材料在高能密度物理、辐射运输、绝热成型研究中有重要应用,但该材料多孔易碎,加工难度大.在尖刃金刚石外圆刀具和......
为了研究飞秒激光对不锈钢材料的加工工艺，采用基于飞秒激光材料烧蚀的微细加工方法，深入研究了飞秒激光高效高质量微细加工不锈钢材......
极板结构直接影响微型直接甲醇燃料电池的极化特性，采用微机械加工技术制作几种不同极板流场结构的直接甲醇燃料电池．通过对不同极板......
提出了一种面向微加工的虚拟光刻系统Litho3D。该系统采用傅立叶光学成像模型、光刻胶曝光及显影模型，实现了投影式光学光刻的三维......
本文提出了脉冲约束刻蚀电化学微加工方法,从半无限和有限扩散脉冲约束刻蚀两个模型出发,从理论上探讨了它的可行性.......
采用波长248nm的krF准分子激光器,通过掩模投影直刻方式对铅粉、铝粉以及氧化锌纳米粉的精细加工进行了研究.结果表明:在同样条件......
具有不同孔径尺寸和孔隙率的多孔硅在不同的MEMS中可作为功能结构层和牺牲层.简要介绍了多孔硅的结构和制备方法;与体微机械和表面......
电子束曝光技术是近三十年来发展起来的一门技术 ,主要应用于 0 .1～ 0 .5μm的超微细加工 ,甚至可以实现纳米线条的曝光。文中重点......
基于新研发的一套微细组合电加工样机μEM-200CDS2，介绍了研发过程中探索出的最小脉宽可以达纳秒级的双功能微能脉冲电源以及样机中......
采用磁控溅射法制备的具有PZT结构驱动薄膜,结合微机械电子(MEMS)工艺制作以PZT薄膜为驱动的无阀型微驱动器.探讨了PZT薄膜微驱动......
针对传统微机械＂固—固＂型触点开关存在触点磨损、接触不稳定、导通电阻大、抗干扰能力差等缺点,设计制作了一种利用水银液滴在变矩......
进行了单颗磨粒高速磨削45钢、20Cr钢和典型难磨材料钛合金TC4和GH4169高温合金的试验.试验结果表明,对于45钢和20Cr钢,高速条件下......
叙述一种新型微机械伺服加速度计，并与电磁式及变电容式线加速度计原理、性能特点进行比较。微机械伺服加速度计测量上限可达±......
微磨料气射流加工工艺在加工制作脆性材料微构件、微机电系统(MEMS)微器件以及脆性材料的平面图案、微细孔槽结构时具有高效率、低......
介绍了一种采用准分子激光进行微细加工微锥体技术的新方法,并利用该方法在有机玻璃上制作质谱分离芯片电喷尖的实验.该方法借鉴了......
设计了一种基于微机械加工技术的风速风向传感器,传感器由四个相互正交的电容器构成,每个电容器包括可动极板和固定极板,此结构将......
微机械陀螺是一种新型的惯导元件，目前主要的研究形式是振动陀螺，本文介绍了一种基于静电悬浮的微机械陀累析模型，它的敏感元件是一块......
准分子激光对无机和有机材料都有着很好的消融和蚀刻性能 .本文主要描述了准分子激光消融和蚀刻在微细加工方面的应用......
采用超高真空气相淀积系统(UHVCVD)制备了多晶锗硅薄膜(poly-Si0.7Ge0.3).研究了它的退火特性和电阻温度特性.将多晶锗硅薄膜电阻......
微机械加工技术是发展微型固态集成传感器,微执行器和微机械构件的一种关键技术,它以硅作为基本材料,集合了精密腐蚀、薄膜生长、......
分析化学、传感器技术和微机械加工相结合，产生了微型全化学分析系统，它是全新概念的化学传感器，具有较好的选择性并能实现准实时监控......
本文通过用微细电火花（ＥＤＭ）方法加工模数为０．０６的微齿轮研究，阐述了微细ＥＤＭ方法加工微齿轮的原理、方法和关键技术。......
叙述了硅基传感器微机械加工的特点和要求，简要说明了硅衬底微细加工的常用方法，并以高过载双向压力传感器和悬空结构热释电传感器的......
介绍一种基于MEMS技术的微型电磁继电器的制造工艺和仿真过程。这种微继电器主要由平面方形线圈，固定电极和活动电极构成，依靠线圈的......
为解决电火花方法加工微三维结构时工具电极的制备、测量和损耗补偿问题,研究了块反拷法和线电极磨削法(WEDG)相配合的电极加工工......
进行了基于光刻技术的高频群脉冲微细电化学薄片加工(ECLM)试验研究.对于微细薄片型金属工件而言,在高频(20 kHz)、群脉冲形式的电......
在转盘式磨蚀实验台上，对Ni60和Ni60＋35％WC涂层进行冲蚀磨损实验，研究了试验材料的表面失效规律及微观破坏机制。结果表明：2种试样的冲......
微机电系统(MEMS)是一个新兴的跨学科研究领域,成本和可靠性是MEMS商品化的关键.与传统的机械加工和IC加工相比,MEMS加工的尺寸偏......
在分析简振模型的基础上设计了一种硅微谐振器，探讨了硅的表面加工技术在制作三维零部件中的应用，利用这种技术成功地制作了硅微谐振......
本文列举了传感器在人的生理信息的监视，伤员救助病人医疗方面的应用概况和发展前景．...
微通道板作为电子倍增器件可以对电子、离子、紫外和软X射线进行探测和成像。传统微通道板制备是采用玻璃纤维拉制和氢还原等技术，......
针对碳化硅材料在较高切削压力的微切削条件下具有脆塑性转变机制，利用专用切削仿真软件AdvantedgeV5．6，对金刚石刀具微切削碳化硅陶......
将CAD/CAM技术和电化学加工技术两者有机结合起来,研究金属零件或模具表面微细花纹、图案、文字(或商标)的三维电化学展成微细加工......
用微机械加工技术开发出一种微型主杯压阻式压力传感器，文中介绍了微型压力传感器的设计思想和研制工艺中的关键技术，并给出了该传感......
本文综述了利用飞秒激光三维直写技术，在玻璃和晶体等透明介电材料中实现微流体、微光学、微电子学等一系列功能性微纳结构，并进一步......
目的建立微流控芯片的CO2激光直接微加工方法。方法构建激光加工装置，设置激光微加工程序，并对激光加工过程中一些影响因素进行分析，......
对140GHz带状注弯折波导的色散特性和耦合阻抗进行了仿真。CST微波工作室的仿真表明该波导在140GHz时,波导内电磁波的轴向相速度为......
设计了一套基于积分原理的准分子激光透镜阵列均束系统.通过对18块4 mm×40 mm的柱面透镜叠放,组成9×9级的透镜阵列,将光......
在纳米级材料去除率和极小载荷下,利用原子力显微镜(AFM)对单晶硅进行基于金刚石针尖的微加工,并且应用扫描电子显微镜(SEM)对微加......
